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光刻技術 Photolithography

以光為基礎,將電路圖形轉印至矽晶片上的製程;是所有現代晶片製造背後的基礎步驟。

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光刻技術是一種以光為基礎的製程,用於將電路圖形轉印至矽晶片上,是所有現代晶片製造背後的基礎步驟。該製程反覆透過光罩將電路圖形投射到感光塗層上,逐層堆疊出晶片結構。最先進的製程需要極紫外光(EUV),而這正是 ASML 戰略地位的來源。參見 Foundry Economics 101