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포토리소그래피 Photolithography
실리콘 위에 회로 패턴을 빛으로 새기는 공정으로, 현대 반도체 제조의 근간이 되는 단계다.
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포토리소그래피는 실리콘 위에 회로 패턴을 빛으로 새기는 공정으로, 현대 반도체 제조의 근간이 되는 단계다. 마스크를 통해 회로 패턴을 감광 코팅 위에 반복적으로 투영함으로써 칩을 층층이 쌓아 올린다. 최선단 공정에는 극자외선(EUV) 노광이 필요하며, 이는 ASML의 전략적 지위의 근원이 된다. Foundry Economics 101 참조.