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리소그래피 Lithography
빛을 이용해 회로 패턴을 실리콘 위에 새기는 반도체 제조 공정으로, ASML의 EUV 독점이 최첨단 공정의 기준을 정의한다.
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리소그래피는 빛을 이용해 회로 패턴을 실리콘 웨이퍼에 새기는 반도체 제조 공정이다. 최첨단 공정은 극자외선(EUV) 리소그래피에 의존하는데, 이 장비 시장에서 ASML이 실질적인 독점 지위를 보유하고 있어 공급망에서 전략적으로 가장 중요한 기업 중 하나로 꼽힌다. 리소그래피 성능은 공정 노드가 얼마나 미세해질 수 있는지—그에 따라 얼마나 조밀하고 효율적일 수 있는지—의 하한선을 결정한다. Sentinel Tickers 101 참조.