Glossarbegriff
Photolithografie Photolithography
Lichtbasierte Strukturierung von Schaltkreisen auf Silizium; der grundlegende Prozessschritt hinter der modernen Chipfertigung.
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Photolithografie ist der lichtbasierte Prozess zur Strukturierung von Schaltkreismerkmalen auf Silizium, der grundlegende Schritt hinter der modernen Chipfertigung. Dabei werden Schaltkreismuster wiederholt durch Masken auf eine lichtempfindliche Beschichtung projiziert, wodurch ein Chip Schicht für Schicht aufgebaut wird. Die technologische Spitze erfordert extrem ultraviolettes (EUV) Licht, was die strategische Position von ASML begründet. Siehe Foundry Economics 101.