Glossarbegriff
Lithografie Lithography
Der Fertigungsschritt in der Chipherstellung, bei dem Licht genutzt wird, um Schaltkreise auf Silizium abzubilden; ASMLs EUV-Monopol definiert die Spitzentechnologie.
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Lithografie ist der Fertigungsschritt in der Chipherstellung, bei dem Licht genutzt wird, um Schaltkreisstrukturen auf Siliziumwafer abzubilden. Die technologische Spitze hängt von der Extrem-Ultraviolett-Lithografie (EUV) ab, bei der ASML ein faktisches Monopol auf die Maschinen hält, was das Unternehmen zu einem der strategisch kritischsten Glieder der Lieferkette macht. Die Lithografie-Fähigkeit setzt die untere Grenze dafür, wie klein — und damit wie dicht und effizient — ein Prozessknoten sein kann. Siehe Sentinel Tickers 101.